雷泰—高级制程的综合性测量

综合性测量的优势:

  •  快速识别和纠正制程偏差
  • 优化薄膜质量
  •  提高生产效率和产量
  •  将已建立的制程快速转换为新的生产线
  •  快速定位新材料和制程