SolR®:控制薄膜太陽能電池每一層的製程

SolR® 是一即時、非接觸性、快速探測白光反射率的量測系統。可以量測薄膜太陽能電池製程中每一層的屬性和厚度,包括透明導電氧化層(TCO)和吸收層與緩衝層。SolR 可以用於任何薄膜沉積系統,是專門設計成可整合進典型的即時和卷對卷製程,適用於所有主要基板和太陽能光電電池設計。

SolR® 系統監控從經塗佈的基板反射的光通過量測位置時的光譜。光譜中干涉條紋的位置和數量經過自動化分析和比對,在線上確認薄膜厚度。藉由量測每個沉積步驟的反射率,可以精確判斷每層厚度。
雖然 TCO 和 CdS 薄膜厚度可透過光譜儀在可見光至近紅外光之間(500–1000 nm)測得,吸收層厚度的判定需要量測紅外光反射率,因為這些材料本身設計為完全吸收可見光。厚度量測準確度一般為 1–2 %。LayTec 廣泛的專業知識以其比對光學資料和在多層製程中精確量測光學屬性(n 和 k 值)學屬性(n 和 k 值)。

產品資訊

應用領域

  • 薄膜太陽能電池製造
  • CIGS、碲化鎘 (CdTe) 和非晶矽生產線

產品功能:

  • 具備客製光學頭和固定器,適用於所有線上製程
  • 透過多頭配置以空間分辨厚度量測
  • 在移動基板在線測量的快速數據採集
  • 自動薄膜厚度分析(包括所有光電材料粗糙層的演算法和 LayTec 分散資料庫)
  • 透過 Profibus、Ethernet、TCP/IP 或其他協定自動整合光電產線軟體

產品消息:


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