EddyCus® TF inline

Eddy 系統能以高速渦電流感測無接觸地即時監測薄膜沉積過程,如透明導電氧化層。提供完整電導率/片電阻值分析。此系統能區分各種導電薄膜,包括氧化鋅、氧化銦錫和其他 TCO。
其他應用為金屬層的厚度或片電阻值的量測,分析多層碳纖維布料的積層、配向、遺漏的纖維束或皺摺。
Eddy 幾乎可以整合到所有生產線,包括真空室,用於在線導電性能的分析覆蓋率達100%。。多達 16 個接頭,可以進行緊密橫向檢查,包括大型的玻璃基板在內。
LayTec 可以輕鬆調適系統依客戶的量測範圍與動態需求。Eddy 提供高低導電薄膜的導電性品質控管,TCO薄膜片電阻值介於 0.01 - 1000ohm/sq 間,和厚度測量 5 nm 以上的 TCO。

產品資訊

應用領域:

  • 薄膜太陽能電池生產
  • CIGS、碲化鎘和非晶矽生產線

 

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