In-situ 측정기술

In-situ는 라틴어로 “in position”의미의 단어이다. 공정분석에 있어서는 증착공정을 실시간으로 관측함을 의미로 사용한다. LayTec사의 in-situ 계측기술은 새로운 박막재료, 공정 혹은 소자구조의 개발을 가능케 한다. 안정하게 확립된 공정에서는 고수율과 가동율이 필수적이다. LayTec사의 in-situ 측정솔루션은 오늘날 시장에서 가장 첨단기술이다. 저희 기기는 박막공정의 모든 주요한 성장요인의 측정 분석이 가능하다.

EpiRAS® TT is used for cubic semiconductors for III-V surface and interface analysis in the R&D stage. The in-situ system provides data on wafer temperature, growth rate, color-plot (RAS/sR) fingerprints, composition, morphology and doping levels. ... more

 

The products of the EpiR TT family are applied for spectroscopic analysis of film thickness, composition, 3D topography and other layer qualities in the R&D stage ... more

 
 
 
 
 

In-situ benefits

  • Understanding and optimization of the deposition process
  • Fast development cycles
  • Identification of process deviations at their root cause
  • Prediction and control of final device properties
  • Identification of defect wafers that should not be further processed
  • In-situ methods increase knowledge
  • In-situ tools save money

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