계측기술:제품개요

LayTec은 광범위한 분야의 제조 공정 및 연구분야에 첨단 계측기술을 제공하는 선도업체로 그 응용분야는: 반도체 에피성장(MOVPE, MBE), 박막성장(PECVD, ALD, sputter)등이다. 우리의 특화된 기술플랫폼은 고객사의 특별한 요구에 부응하는 최고의 계측기술 솔루션을 제공한다.

In-situ 측정기기는 증착장비에 하나 혹은 몇개의 뷰-포터를 통해 설치하여 박막증착공정을 실시간으로 측정 할 수 있다.

 

In-line 측정기기는 제조라인에 설치하여 증착 챔버간에 이동하는 기판을 공정분석을 할 수 있다.

 

LayTec's lab-line tools are used in labs or in at-line production for quality assessment, testing and certification, in particular by PV module manufacturers. ...more

 

We develop OEM metrology solutions together with thin-film equipment manufacturers to guarantee the best metrology performance, full integration and compatibility with the equipment as well as an extensive technical support. … more

 

Product portfolio

In-situ metrology:


In-line metrology:


Lab-line metrology


Map-line metrology:

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