LayTec – 様々なプロセスに対応したその場測定装置です。

測定の利点

  • 製造の偏差からのズレを感知し補正
  • 製膜品質の最適化
  • 製造効率と歩留まりの向上
  • プロセスラインの早期移行
  • 新材料やプロセスの短期間での研究開発

News

  • EpiTT VCSEL – shipments to leading VCSEL manufacturer
  • ILMetro – in-line metrology station for CdTe based thin-film PV