在基于GaN的LED生产过程中仍存在一个造成困扰的问题,即无法测量和控制蓝宝石或SiC外延生长过程中,GaN表面的真实温度。雷泰提供的Pyro400可解决这一问题,该系统可以精确测量位于蓝宝石和SiC上的GaN表面的真实温度,直接控制InGaN多量子阱(MQW)层的生长情况。
LayTec's latest development Pyro 400 Gen3 comes to the market with its own calibration tool: AbsouT 400. ...more
所有雷泰原位系统均配备了专为制程优化、分析和控制所开发的雷泰软件。我公司的软件解决方案可在金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工厂里控制几个系统,并同时监测所有批次,帮助操作人员根据先进制程控制(APC)的具体情况作出“终止或继续”的决定。 ...更多
Product information
• GaN LED and laser diode production
• III-Nitride growth on sapphire
• SiC growth
• R&D for new materials and devices
and many others
In-situ product portfolio