EddyCus® TF inline
Eddy系统可在非接触条件下，实时监测薄膜的沉积制程，例如，使用高速涡流测量透明导电氧化物。该系统可执行综合性导电率/薄层电阻分析。系统以所有导电性薄膜为特征，其中包括氧化锌（ZnO）、氧化铟锡（ITO）和其他透明导电氧化物（TCO）。
此外，还可测量金属层的厚度或薄层电阻，分析与接合处、取向、缺失束或褶皱相关的多层碳纤维织物。
Eddy可集成于大多数生产线（含真空室），对生产线内的导电性测量覆盖率可达100%。该系统最多可配备16个测量头，可对大型玻璃衬底进行侧向检查。
雷泰可根据客户对测量范围和动态的要求调节系统。Eddy适用于控制低导电性和高导电性薄膜质量，尤其适用于监测电阻率为0.01-1000?/sq，厚度大于等于5nm的透明导电氧化物（TCO）薄层。
Product information
Fields of application:
- Thin-film solar cell production
- CIGS, CdTe and a-Si based production lines
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