EddyCus® TF inline

Eddy系统可在非接触条件下,实时监测薄膜的沉积制程,例如,使用高速涡流测量透明导电氧化物。该系统可执行综合性导电率/薄层电阻分析。系统以所有导电性薄膜为特征,其中包括氧化锌(ZnO)、氧化铟锡(ITO)和其他透明导电氧化物(TCO)。

此外,还可测量金属层的厚度或薄层电阻,分析与接合处、取向、缺失束或褶皱相关的多层碳纤维织物。

Eddy可集成于大多数生产线(含真空室),对生产线内的导电性测量覆盖率可达100%。该系统最多可配备16个测量头,可对大型玻璃衬底进行侧向检查。

雷泰可根据客户对测量范围和动态的要求调节系统。Eddy适用于控制低导电性和高导电性薄膜质量,尤其适用于监测电阻率为0.01-1000?/sq,厚度大于等于5nm的透明导电氧化物(TCO)薄层。

产品信息

应用领域

  • 薄膜太阳能电池生产

  • 基于CIGS、CdTe和非晶硅的生产线

 

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  EddyCus® TF inline Datasheet